Beberesih permukaan plasma mangrupikeun prosés dimana najis sareng rereged tina permukaan sampel dipiceun ku nyiptakeun plasma énergi tinggi tina partikel gas, éta dirarancang pikeun sababaraha aplikasi sapertos beberesih permukaan, sterilisasi permukaan, aktivasina permukaan, parobahan énergi permukaan, préparasi permukaan pikeun beungkeutan sareng adhesion, modifikasi kimia permukaan.